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超纯水工艺流程

 

电子工业用超纯水工艺流程介绍
电子工业用超纯水概述:
半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示,高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微子工业、大规模、超大规模集成电路需用大量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高,对水质的要求也越高。目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业标准,分别为18MΩ.CM、15MΩ.CM、10MΩ.CM、2MΩ.CM、0.5MΩ.CM,以区分不同水质。电子行业制备超水的工艺大致分为以下几种:
1、采用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方式,其基本工艺流程为:原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→阳床→阴床→混床(复床)→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点。
2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方式,其基本工艺流程为:原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→反渗透设备→混床(复床)→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点。
3、采用反渗透水处理设备与电去离子(EDI)设备进行搭配的方式,这是一种制取超纯水的最新工艺,也是一种环保,经济,发展潜力巨大的超纯水制备工艺,其基本工艺流程为:原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→反渗透设备→电去离子(EDI)→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点。
三种制备电子工业用超纯水的工艺比较
1、第一种采用离子交换树脂其优点在于初投资少,占用的地方少但缺点就是需要经常进行离子再生,耗费大量酸碱,而且对环境有一定的破坏。
2、第二种采用反渗透作为预处理再配上离子交换设备,其特点为初投资比采用离子交换树脂方式要高,但离子设备再生周期相对要长,耗费的酸碱比单纯采用离子树脂的方式要少很多,但对环境还是有一定的破坏性
3、第三种采用反渗透作预处理再配上电去离子(EDI)装置,这是目前制取超纯水最经济,最环保用来制取超纯水的工艺,不需要用酸碱进行再生便可连续制取超纯水,对环境没什么破坏性。其缺点在于初投资相对以上两种方式过于昂贵。
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